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진공 확산 접합에서는 접합할 금속 부품을 먼저 진공 챔버에 배치하여 진공 환경을 만듭니다. 그런 다음 금속은 가열 시스템에 의해 녹는점 이상으로 가열되어 부분적으로 또는 완전히 녹습니다. 다음으로, 용융 금속 표면에 증기가 생성되고 증기 분자가 진공 상태에서 자유롭게 확산됩니다.

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